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晶圆甩干机的主要功能是什么？

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无锡泉一科技有限公司2024-04-10

答：晶圆甩干机的主要功能是通过高速旋转，将晶圆表面的清洗液或水分迅速甩干，确保晶圆表面的干燥度，为后续工艺步骤提供高质量的晶圆。

本回答由 无锡泉一科技有限公司 提供

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